Zobrazeno 1 - 7
of 7
pro vyhledávání: '"Franklin Kalk"'
Autor:
Martin Sczyrba, Aamod Shanker, Laura Waller, Franklin Kalk, Andrew R. Neureuther, Brid Connolly
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Photomasks are expected to have phase effects near edges due to their 3D topography, which can be modeled as imaginary boundary layers in thin mask simulations. We apply a modified transport of intensity (TIE) phase imaging technique to through-focus
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::4445cfb0e79f5d4a3b3733e8cc909cd4
https://doi.org/10.1117/12.2048278
https://doi.org/10.1117/12.2048278
Autor:
John Zimmerman, Eelco van Setten, Natalia Davydova, Karolien Mehagnoul, Franklin Kalk, Noreen Harned, Brid Connolly, Robert de Kruif
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
EUV lithography requires an exposure system with complex reflective optics and an equally complex EUV dedicated reflective mask. The required high level of reflectivity is obtained by using multilayers. The multilayer of the system optics and the mas
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::8f1f2f0796a850435b0331a2817e4cf8
https://doi.org/10.1117/12.921209
https://doi.org/10.1117/12.921209
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.