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Autor:
Yucheng Zhang, Francesco Solozzi, Norbert Cselyuszka, Kurt Sorchag, Nikolai Andrianov, Manuel Bauscher, Michael Schiffer, Mohssen Moridi, Elmar Aschauer, Klaus-Dieter Lang, Martin Schneider-Ramelow
Publikováno v:
2022 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP).