Zobrazeno 1 - 10
of 18
pro vyhledávání: '"Fisch, Emily"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2005, Issue 1, p646-653, 8p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2004, Issue 1, p155-166, 12p
Autor:
Thiel, Carey, Racette, Kenneth C., Fisch, Emily, Lawliss, Mark, Kindt, Louis, Huang, Chester, Ackel, Robin, Levy, Max
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2003, Issue 1, p339-346, 8p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p480-485, 6p
Status of fabrication of square-format masks for extreme-ultraviolet lithography (EUVL) at the MCoC.
Autor:
Racette, Kenneth C., Williams, Carey T., Fisch, Emily, Kindt, Louis, Lawliss, Mark, Ackel, Robin, Lercel, Michael J.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p161-172, 12p
Autor:
Pettibone, Donald W., Veldman, Andrei, Liang, Ted, Stivers, Alan R., Mangat, Pawitter J. S., Lu, Bing, Hector, Scott D., Wasson, James R., Blaedel, Kenneth L., Fisch, Emily, Walker, David M.
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p363-374, 12p
Autor:
Lercel, Michael J., Williams, Carey T., Lawliss, Mark, Ackel, Robin, Kindt, Louis, Fisch, Emily
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p790-798, 9p
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p865-871, 7p
Autor:
Lercel, Michael J., Fisch, Emily, Racette, Kenneth C., Lawliss, Mark, Williams, Carey T., Kindt, Louis, Huang, Chester
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; Nov2002, Issue 1, p18-22, 5p