Zobrazeno 1 - 8
of 8
pro vyhledávání: '"Feng Chengang"'
Autor:
Feng, Chengang *, **, Bourdais, Romain *
Publikováno v:
In IFAC PapersOnLine July 2017 50(1):8423-8428
Autor:
Liang, Yen Nan, Lok, Boon Keng, Wang, Libo, Feng, Chengang, Lu, Albert Chee Wai, Mei, Ting, Hu, Xiao
Publikováno v:
In Thin Solid Films 1 October 2013 544:509-514
Publikováno v:
In Organic Electronics 2011 12(8):1304-1313
Publikováno v:
In Organic Electronics 2010 11(11):1713-1718
Autor:
Yi, Mingdong, Yu, Shunyang, Feng, Chengang, Zhang, Tong, Ma, Dongge, Meruvia, M.S., Hümmelgen, Ivo A.
Publikováno v:
In Organic Electronics 2007 8(4):311-316
Publikováno v:
2019 Electron Devices Technology and Manufacturing Conference (EDTM).
Volcano defect is found on non-volatile memory structure after tungsten contact formation, causing longer tungsten CMP polishing time, generation of dark voltage contrast defect under e-beam inspection and severely degraded product yield. The effects
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5dc98f0cd15064c1057b5096960066ce
https://doi.org/10.1109/edtm.2019.8731242
https://doi.org/10.1109/edtm.2019.8731242
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.