Zobrazeno 1 - 10
of 10
pro vyhledávání: '"Fegerl, J."'
Autor:
Buchmann, L.-M., Heuberger, A., Fallmann, W., Paschke, F., Stangl, G., Chalupka, A., Fegerl, J., Löschner, H., Malek, L., Nowak, R., Stengl, G., Traher, C., Wolf, P., Fischer, R.
Experiments performed with a research type Ion Projector show electronic alignment in X, Y, and rotation with 0.1 Mym accuracy for 2 mm*2 mm chip fields obtained at 9* ionoptical reduction. The fine adjustment of the projected ion image is accomplish
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______610::20b782f6030dcc2710b1466a8e31e8d6
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/178716
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/178716
Autor:
Hammel, E., Chalupka, A., Fegerl, J., Fischer, R., Lammer, G., Löschner, H., Malek, L., Nowak, R., Stengl, G., Vonach, H., Wolf, P., Brünger, W. H., Buchmann, L.-M., Torkler, M., Cekan, E., Fallmann, W., Paschke, F., Stangl, G., Thalinger, F., Berry, I. L.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1994, Vol. 12 Issue 6, p3533-3538, 6p
Autor:
Löschner, H., Stengl, G., Chalupka, A., Fegerl, J., Fischer, R., Hammel, E., Lammer, G., Malek, L., Nowak, R., Traher, C., Vonach, H., Wolf, P., Hill, R. W.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1993, Vol. 11 Issue 6, p2409-2415, 7p
Autor:
Löschner, H., Stengl, G., Chalupka, A., Fegerl, J., Fischer, R., Lammer, G., Malek, L., Nowak, R., Traher, C., Wolf, P.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1993, Vol. 11 Issue 2, p487-492, 6p
Autor:
Stengl, G., Bösch, G., Chalupka, A., Fegerl, J., Fischer, R., Lammer, G., Löschner, H., Malek, L., Nowak, R., Traher, C., Wolf, P., Mauger, P., Shimkunas, A., Sen, S., Wolfe, J. C.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1992, Vol. 10 Issue 6, p2824-2828, 5p
Autor:
Stengl, G., Bösch, G., Chalupka, A., Fegerl, J., Fischer, R., Lammer, G., Löschner, H., Malek, L., Nowak, R., Traher, C., Wolf, P., Vonach, H.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 1992, Vol. 10 Issue 6, p2838-2841, 4p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.