Zobrazeno 1 - 10
of 94
pro vyhledávání: '"Fallmann, W."'
Autor:
Szmanda, C.S., Brainard, R.L., Mackevich, J.F., Awaji, A., Tanaka, T., Yamada, Y., Bohland, J., Tedesco, S., Dal'Zotto, B., Brünger, W.H., Torkler, M., Fallmann, W., Löschner, H., Käsmaier, R., Nealey, P.M., Pawloski, A.R.
A method for measuring acid generation efficiency is presented and utilized to determine the relative efficiency of four photoacid generators (PAGs) upon radiation with photon, electron, and ion beams. In this method, chemically amplified resists are
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______610::4a3cce690e34a78fd29ad0d1ad0aa756
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195365
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/195365
Autor:
Szmanda, C.R., Brainard, R.L., Mackevich, J.F., Awaji, A., Tanaka, T., Yamada, Y., Bohland, J., Tedesco, S., Dalzotto, B., Bruenger, W., Torkler, M., Fallmann, W., Loeschner, H., Kaesmaier, R., Nealey, P.M., Pawloski, A.R.
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______610::83f162d3e3006ba8ec59be88aadc45fb
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/194375
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/194375
Autor:
Buchmann, L.-M., Heuberger, A., Fallmann, W., Paschke, F., Stangl, G., Chalupka, A., Fegerl, J., Löschner, H., Malek, L., Nowak, R., Stengl, G., Traher, C., Wolf, P., Fischer, R.
Experiments performed with a research type Ion Projector show electronic alignment in X, Y, and rotation with 0.1 Mym accuracy for 2 mm*2 mm chip fields obtained at 9* ionoptical reduction. The fine adjustment of the projected ion image is accomplish
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______610::20b782f6030dcc2710b1466a8e31e8d6
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/178716
https://publica.fraunhofer.de/handle/publica/178716
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Fresenius' Zeitschrift für Analytische Chemie; 1984, Vol. 319 Issue 6/7, p855-860, 6p
Publikováno v:
Microchimica Acta; 1981, Vol. 76 Issue 5/6, p469-482, 14p