Zobrazeno 1 - 10
of 28
pro vyhledávání: '"Fallet, Clément"'
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; 4/2/2018, Vol. 10664, p1-20, 20p
Autor:
Fallet, Clément
With the constant decrease of the size of the transistors in microelectronics, the characterization tools have to be more and more accurate and have to provide higher and higher throughput. Semiconductor manufacturing being a layer-by-layer process,
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=od_______166::59f92e0e1ee62f710e054005d0c82a09
https://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00651738v2
https://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00651738v2
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Fallet, Clément
Avec la diminution constante de la taille des transistors dans la microélectronique, les outils de caractérisation doivent être de plus en plus précis et doivent fournir un débit de plus en plus élevé. La fabrication de semi-conducteurs étant
Autor:
Fallet, Clément
Avec la diminution constante de la taille des transistors dans la microélectronique, les outils de caractérisation doivent être de plus en plus précis et doivent fournir un débit de plus en plus élevé. La fabrication de semi-conducteurs étant
Externí odkaz:
http://pastel.archives-ouvertes.fr/pastel-00651738
http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/65/17/38/PDF/ThA_se_FALLET_75p.pdf
http://pastel.archives-ouvertes.fr/docs/00/65/17/38/PDF/ThA_se_FALLET_75p.pdf
Autor:
Ferrieu, F., Novikova, Tatiana, Fallet, Clément, Ben Hatit, Sami, Vannuffel, Cyril, de Martino, Antonello
Publikováno v:
Thin Solid Films
Thin Solid Films, 2011, 519, pp.2608
Thin Solid Films, 2011, 519, pp.2608
International audience
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::370b8e1d2f220b8853d1631d84adb304
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00789250
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-00789250
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.