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pro vyhledávání: '"FAKIRI, Souheyla"'
Publikováno v:
In Materials Science & Engineering A 10 January 2018 711:470-475
Publikováno v:
INDENTATION
INDENTATION, Oct 2016, Lille, France
INDENTATION, Oct 2016, Lille, France
Dans la technologie des semi-conducteurs, le silicium poreux (SiP) trouve un grand intérêt notamment pour ses propriétés thermiques ou même diélectriques qui jouent un rôle important notamment pour la fabrication de microsystèmes ou de micro-
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https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::ba4c7c6c0561de9da9d60affe6565c1f
https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-01485136
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