Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"F.M. Daby"'
Publikováno v:
Proceedings of the 2nd IEEE Conference on Nanotechnology.
The 2 nm interface films formed between the 10 nm thin Hf- and Zr-doped tantalum oxide high k films and Si wafer were studied. Physical and chemical properties of the interface layer were investigated with respect to the bulk film preparation conditi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::191d9996b89434187b489244409417d6
https://doi.org/10.1109/nano.2002.1032240
https://doi.org/10.1109/nano.2002.1032240
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.