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Tagungsband.
Es gibt bereits mehrere Ansatze fur die Entwicklung von MEMS-Vakuummetern. Die meisten davon orientieren sich dabei an den Messkonzepten von bewahrten makroskopischen Messgeraten. Wir stellen hier einen Ansatz zur Messung des Vakuumdruckes vor, der e
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::f0940d1f3af82b0c92c510bd9bbab3c2
https://doi.org/10.5162/sensoren2016/p9.3
https://doi.org/10.5162/sensoren2016/p9.3
