Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Carbon ion implantation as healing strategy for improved reliability in phase-change memory arrays

Autor: A. Jannaud, Marianne Coig, J. Garrione, Mathieu Bernard, Marie-Claire Cyrille, F. Al Mamun, F. Mazen, B. Hemard, T. Magis, C. Socquet-Clerc, Gabriele Navarro, V. Meli, Guillaume Bourgeois, Emmanuel Nolot, Francois Andrieu, N. Bernier, J. P. Barnes, Eugénie Martinez, N. Castellani, C. Charpin, F. Milesi, C. Sabbione, F. Laulagnet

Publikováno v: Microelectronics Reliability
Microelectronics Reliability, In press, ⟨10.1016/j.microrel.2021.114221⟩
Microelectronics Reliability, Elsevier, In press, ⟨10.1016/j.microrel.2021.114221⟩

International audience; In this paper we investigate the effect of Carbon ion implantation in Ge$_2$ Sb$_2$ Te$_5$ based Phase-Change Memory (PCM) targeting reliability improvement in 4kb memory arrays. We show how ion implantation by beam line allow

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::70e57736ecd498b80119d3cb144b5aed
https://hal-cea.archives-ouvertes.fr/cea-03373794