Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"F Klüpfel"'
Autor:
J von Borany, H-J Engelmann, K-H Heinig, E Amat, G Hlawacek, F Klüpfel, R Hübner, W Möller, M-L Pourteau, G Rademaker, M Rommel, L Baier, P Pichler, F Perez-Murano, R Tiron
Publikováno v:
Semiconductor Science and Technology. 38:055011
This study addresses the complementary metal-oxide-semiconductor-compatible fabrication of vertically stacked Si/SiO2/Si nanopillars (NPs) with embedded Si nanodots (NDs) as key functional elements of a quantum-dot-based, gate-all-around single-elect
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::70cc75628207d2fa354e36ca2239d2ab
https://doi.org/10.1088/1361-6641/acbe5d
https://doi.org/10.1088/1361-6641/acbe5d
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Lorenz J; Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany. juergen.lorenz@iisb.fraunhofer.de., Bär E; Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany. eberhard.baer@iisb.fraunhofer.de., Barraud S; CEA, LETI, MINATEC campus and Univ. Grenoble Alpes, 38054 Grenoble, France. sylvain.barraud@cea.fr., Brown AR; Synopsys Northern Europe Ltd., Glasgow G3 8HB, UK. Andrew.Brown@synopsys.com., Evanschitzky P; Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany. peter.evanschitzky@iisb.fraunhofer.de., Klüpfel F; Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie, Schottkystrasse 10, 91058 Erlangen, Germany. Fabian.Kluepfel@iisb.fraunhofer.de., Wang L; Synopsys Northern Europe Ltd., Glasgow G3 8HB, UK. Liping.Wang@synopsys.com.
Publikováno v:
Micromachines [Micromachines (Basel)] 2018 Dec 23; Vol. 10 (1). Date of Electronic Publication: 2018 Dec 23.