Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Evelyne Tabouret"'
Autor:
Didier Louis, Olivier Pollet, Jean Philippe Odet, E. Lajoinie, Sylviane Cetre, Marc Veillerot, O. Louveau, Béatrice Icard, Laurent Lachal, Evelyne Tabouret, Hervé Fontaine
Publikováno v:
Solid State Phenomena. :301-304
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ad3d8ffdabc0cbae68ff850f241cf08e
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.103-104.301
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.103-104.301
Autor:
Olivier Louveau, Emile Lajoinie, Olivier Pollet, Jean Philippe Odet, Sylviane Cêtre, Laurent Lachal, Béatrice Icard, Evelyne Tabouret, Marc Veillerot, Hervé Fontaine, Didier Louis
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7ab7d660aaad97f0e4d707f4b15df00e
https://doi.org/10.4028/3-908451-06-x.301
https://doi.org/10.4028/3-908451-06-x.301
Publikováno v:
Advanced Techniques for Integrated Circuit Processing.
The etching of tungsten can be achieved using chlorine or fluorine chemistries. In both cases the selectivity between tungsten and photoresist mask is very low and leads to a slopped etching with a poor C. D. control. So we developped a new process u
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e19c5d87956508e5077ccfe74dc905f8
https://doi.org/10.1117/12.48922
https://doi.org/10.1117/12.48922
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.