Výsledky vyhledávání - "Eun-Su Rho"

A Study of a Single-Wafer Process in Metal Contact Hole Cleaning

Autor: Leo Archer, Tae-gyun Kim, Eun Su Rho, Han Mil Kim, Bong Ho Moon, Hee Kang Cho, Won Ho Cho, Jae Yong Park, Jong Kook Song

Publikováno v: Solid State Phenomena. 134:177-180

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::beed141eda9223cffc827d73f86454c7
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/ssp.134.177

Zobrazit plný text záznamu

A Study of a Single-Wafer Process in Metal Contact Hole Cleaning

Autor: Jae Yong Park, Jong Kook Song, Han Mil Kim, Hee Kang Cho, Tae Gyun Kim, Bong Ho Moon, Eun Su Rho, Leo Archer, Won Ho Cho

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::84d7b68fa2ff9631f5bd16b9d04c4759
https://doi.org/10.4028/3-908451-46-9.177

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Single-wafer polymer removal on DRAM structures using inorganic chemicals.

Autor: Jong-Kook Song, Han-Mil Kim, Eun-Su Rho, Haigermoser, Christian, Henry, Sally-Ann

Publikováno v: Solid State Technology. May2005, Vol. 48 Issue 5, p36-40. 4p.

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Single-wafer process for improved metal contact hole cleaning. (cover story)

Autor: Jae Yong Park, Han Mu Kim, Jong Kook Song, Won Ho Cho, Eun Su Rho, Archer, Leo

Publikováno v: Solid State Technology. May2007, Vol. 50 Issue 5, p50-52. 3p.

Zobrazit plný text záznamu