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pro vyhledávání: '"Empilement de grille"'
Autor:
Piallat, Fabien
L'intégration du métal dans les nœuds technologiques sub-20 nm requiert une conformité supérieure à celle permise par la PVD. Les techniques de CVD, plus spécifiquement la MOCVD et l'ALD, ont été identifiées comme les meilleures solutions p
Externí odkaz:
http://www.theses.fr/2014GRENT015/document
Autor:
Piallat, Fabien
Publikováno v:
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Grenoble, 2014. English
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Grenoble, 2014. English. ⟨NNT : ⟩
Micro and nanotechnologies/Microelectronics. Université de Grenoble, 2014. English. ⟨NNT : ⟩
For the sub-20 nm technological nodes metal conformity requirements are beyond the possibilities of the currently used PVD deposition technique. CVD techniques, more specifically MOCVD and ALD, are identified as the best techniques for metal depositi
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::b53ff32cfbf9cdb2fbef71d6c71ff92a
https://hal.archives-ouvertes.fr/tel-01267650
https://hal.archives-ouvertes.fr/tel-01267650