Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Eiichi Iino"'
Publikováno v:
Applied Spectroscopy. 47:1488-1491
We will demonstrate that our micro-FT-IR mapping system is highly effective for investigating the behavior of interstitial oxygen (Oi) in Czochralski-grown silicon single crystals. The micro-FT-IR system experiences high space resolution, and Oi stri
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3453088bc5cdefed60cf2657a499f508
https://doi.org/10.1366/0003702934067711
https://doi.org/10.1366/0003702934067711
Publikováno v:
MRS Proceedings. 262
We investigated phenomena of oxygen precipitation in silicon single crystals by two kinds of thermal treatment, supposing a CMOS fabrication process. The one consisted of the first annealing at 1123K for 4 hrs and the second annealing at 1423K for 16
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::17813805fc8e19113a8e5ea35361fcf2
https://doi.org/10.1557/proc-262-683
https://doi.org/10.1557/proc-262-683
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.