Thermographie hétérodynée et thermoréflectance ponctuelle à haute résolution temporelle pour le diagnostic thermique de composants microélectroniques

Autor: Apaolaza, Xabier, Rigollet, Fabrice, Adrian, Jérôme, Ehret, Nathalie, Gardarein, Jean-Laurent, Fichera, Pietro, Barakel, Damien, Goubier, Vincent

Publikováno v: Congrès Français de Thermique 2017
Congrès Français de Thermique 2017, IUSTI & les laboratoires de la fédération Fabri de Peiresc, Aix-Marseille Université, May 2017, Marseille, France. pp.691-698

National audience; Deux techniques sont utilisées en parallèle sur un même composant microélectronique pour diagnostiquer son échauffement au passage de pics de courant de quelques dizaines de microsecondes. La thermographie IR hétérodyne ‘f

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