Výsledky vyhledávání - "Ebbing, A.A."

Conference

Chemical Routes to Improved Mechanical Properties of PECVD Low K Thin Films.

Autor: Bilodeau, S.M., Borovik, A.S., Ebbing, A.A., Vestyck, D.J, Xu, C., Roeder, J.F., Baum, T.H.

Publikováno v: MRS Online Proceedings Library; 2004, Vol. 812 Issue 1, p1-6, 6p

Zobrazit plný text záznamu