Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"E.V. Gerova"'
Publikováno v:
Thin Solid Films. 81:201-206
A1N films were deposited onto silicon substrates in d.c. planar magnetron system by means of reactive sputtering of aluminium in an atmosphere of nitrogen. The influence of the deposition conditions and of post-deposition annealing on the properties
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.