Zobrazeno 1 - 10
of 16
pro vyhledávání: '"E.H. Bogardus"'
Autor:
T.J. Headley, Loren W. Linholm, Christine E. Murabito, E.H. Bogardus, Michael W. Cresswell, B.A. am Ende, William F. Guthrie, R.A. Allen, C.H. Ellenwood
Publikováno v:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 16:239-248
A technique has been developed to determine the linewidths of the features of a prototype reference material for the calibration of critical-dimension (CD) metrology instruments. The reference features are fabricated in mono-crystalline-silicon with
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::7e65a0f0ba04dcc1dc41a7ac6d9a669a
https://doi.org/10.1109/tsm.2003.812163
https://doi.org/10.1109/tsm.2003.812163
Autor:
R.A. Allen, B.A. am Ende, T.J. Headley, Loren W. Linholm, Michael W. Cresswell, E.H. Bogardus, William F. Guthrie, Christine E. Murabito
Publikováno v:
Proceedings of the 2002 International Conference on Microelectronic Test Structures, 2002. ICMTS 2002..
NIST, Sandia National Laboratories, and International SEMATECH are developing a new type of linewidth standard for calibrating Critical Dimension (CD) metrology instruments for lithographic process control. The standard reference feature is the bridg
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::09577911e166641bb4e3450f135ba23b
https://doi.org/10.1109/icmts.2002.1193161
https://doi.org/10.1109/icmts.2002.1193161
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.