Zobrazeno 1 - 5
of 5
pro vyhledávání: '"E.A. Sammann"'
Autor:
B. G. Streetman, Peter Williams, E.A. Sammann, Judith E. Baker, J. D. Oberstar, Nancy Finnegan
Publikováno v:
Thin Solid Films. 94:149-159
Using Auger electron spectroscopy (AES) and secondary ion mass spectrometry (SIMS) we examined the InP encapsulation properties of chemically vapor-deposited SiO2, chemically vapor-deposited phosphosilicate glass (PSG) and r.f.-plasma-deposited Si3N4
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d672cdd177e204876c2499b14921220f
https://doi.org/10.1016/0040-6090(82)90507-7
https://doi.org/10.1016/0040-6090(82)90507-7
Publikováno v:
Thin Solid Films. 81:347-356
We observed cracking in chemically vapor-deposited SiO2 encapsulating layers on InP when these samples were annealed at temperatures above 650°C. Using optical microscopy, scanning electron microscopy and Auger electron spectroscopy we studied the d
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::0baea0ef08822ea7830b83f6259ea7ce
https://doi.org/10.1016/0040-6090(81)90519-8
https://doi.org/10.1016/0040-6090(81)90519-8
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.