Zobrazeno 1 - 10
of 17
pro vyhledávání: '"E.A. Maximovski"'
Publikováno v:
Materials Science Forum. :197-200
Thin nanocrystalline CdS and CdxZn1-xS films have been synthesized on InP(100), Si(100), GaAs (100), sapphire(100) and fused silica substrates at low pressure (5 × 10-2-2 × 10 -1Torr)and in the temperature range of 473-673 K by remote plasma enhanc
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ed1db2502f31d6b08cc45f46e1d72fe9
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.443-444.197
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.443-444.197
Publikováno v:
Materials Science Forum. :493-498
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::b13a5dc231a01f59c643ff5555b16f97
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.378-381.493
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.378-381.493
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. 470:253-257
Diffraction of synchrotron radiation (SR) was used to investigate crystalline structure and phase composition of thin films (1500–5000 A) of boron carbonitride. These films were synthesized by plasma-enhanced chemical vapor deposition using nontrad
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::20b9e61520c36a755afac55dc2ab56ec
https://doi.org/10.1016/s0168-9002(01)01070-1
https://doi.org/10.1016/s0168-9002(01)01070-1
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. 470:193-197
The novel ternary silicon carbonitride films were synthesised by RPECVD using hexamethyldisilazane Si 2 NH(CH 3 ) 6 as a volatile single-source precursor. Different analysis techniques such as IR, Raman spectroscopy, ellipsometry, XPS, SEM, HRTEM, an
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3ddac0da248575ea509f8d38aac2b3e3
https://doi.org/10.1016/s0168-9002(01)01043-9
https://doi.org/10.1016/s0168-9002(01)01043-9
Publikováno v:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment. 448:294-298
Crystalline structure and phase composition of thin boron and silicon carbonitride films were investigated using diffraction of synchrotron radiation (SR). These films were synthesized by RPECVD using nontraditional volatile precursors. The diffracti
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::27c13cefa08cd2e9a1b778ce92cc4b9b
https://doi.org/10.1016/s0168-9002(00)00230-8
https://doi.org/10.1016/s0168-9002(00)00230-8
Publikováno v:
Materials Science Forum. :230-235
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a7e7caf172ce3910fb8ffc32d40fccd8
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.321-324.230
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.321-324.230
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Michiyoshi Tanaka, E.A. Maximovski, F. Satoh, Marina Kosinova, K. Shibata, N.P. Sysoeva, Masami Terauchi, Fedor A. Kuznetsov, N. I. Fainer, Yu. M. Rumyantsev
Publikováno v:
Scopus-Elsevier
Thin Cd x Zn 1-x S films have been deposited on Si(100), GaAs (100) and fused silica substrates at low pressure in the temperature range of 473-673 K by remote plasma enhanced chemical vapor deposition (RPECVD) using Cd/Zn(S2CN(C 2 H 5 ) 2 ) 2 .C 10
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::9b31938353f9d4f1147730f5241cfc93
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0034854705&partnerID=MN8TOARS
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-0034854705&partnerID=MN8TOARS
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.