Zobrazeno 1 - 10 of 20 pro vyhledávání: '"E. Oborina"'
1
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
2
Fast Non-Contact Dielectric Characterization for SiC MOS Processing
Autor: Andrew M. Hoff, E. Oborina
Publikováno v: Materials Science Forum. :1035-1038
Non-contact corona-voltage metrology is utilized to characterize as-grown thermal oxide films on 4H SiC substrates. Contact potential difference mapping is coupled with incremental application of corona charge to provide whole-wafer images of process
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::aeb540d7ee0980823f7f71e78d44e234
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/msf.527-529.1035
Zobrazit plný text záznamu
3
Oxide of non-basal quasi-polar 6H-SiC surfaces
Autor: Stephen E. Saddow, Y. Shishkin, Andrew M. Hoff, E. Oborina, Andrei A. Maltsev
Publikováno v: Journal of Physics D: Applied Physics. 39:2692-2695
Non-basal surfaces of 6H-SiC, which are thought to exhibit polar behaviour, were thermally oxidized in steam. The resulting oxide thickness was determined by two methods: a non-contact measurement of the oxide capacitance and a physical measurement o
Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d8b9bebdeaa1b2e364082b82fe8fa5a5
https://doi.org/10.1088/0022-3727/39/13/009
Zobrazit plný text záznamu
8
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
9
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
10
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání

Omezení vyhledávání
Plný text Recenzováno Digitální knihovna AV ČR
Zdroje