Výsledky vyhledávání

Effects Of Pressure And Power On The Ionic Saturation Current And Self-Bias Voltage In A RF Discharge 13.56 MHz Of (SF[sub 6], O[sub 2]) At Low Pressure

Autor: M. M. Alim, M. Zekara, L. Henni, R. Tadjine, E. Lahmar, K. Henda, El-Hachemi Amara, Saïd Boudjemai, Djamila Doumaz

Publikováno v: AIP Conference Proceedings.

In the present work, we are interested in RF plasma discharge for surface texturing in solar cells application. We then present the results of the electrical characterization of plasma reactor at low pressure (

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::3ade746c3bd993238cb9bdcea72301db
https://doi.org/10.1063/1.2999939

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Vyhledávací nástroje:

Upřesnit hledání