Zobrazeno 1 - 10
of 11
pro vyhledávání: '"E. Kuryliw"'
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 24:1302-1307
Few transmission electron microscopy (TEM) studies of single crystal diamond have been reported, most likely due to the time and difficulty involved in sample preparation. A method is described for creating a TEM cross section of single crystal diamo
Publikováno v:
Journal of Applied Physics. 95:2452-2460
End of range (EOR) defects are the most commonly observed defects in ultrashallow junction devices. They nucleate at the amorphous-crystalline interface upon annealing after amorphization due to ion implantation. EOR defects range from small intersti
Publikováno v:
2000 International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings. Ion Implantation Technology - 2000 (Cat. No.00EX432).
In order to investigate the role of the end of range damage on dopant motion during post-laser thermal processing (LTP) anneals, a 15 keV, 1/spl times/10/sup 15/ ions/cm/sup 2/ Si/sup +/ implant was used to amorphize the silicon surface. Low energy i
Publikováno v:
MRS Proceedings. 717
Laser Thermal Processing (LTP) involves laser melting of an implantation induced preamorphized layer to form highly doped ultra shallow junctions in silicon. In theory, a large number of interstitials remain in the end of range (EOR) just below the l
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 24:446
In an effort to extend the scaling of advanced complementary metal-oxide semiconductor devices, strain has been incorporated to enhance carrier mobility. In this study, the effect of strain on the solid-phase epitaxial regrowth process of patterned w
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.