Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"E. Koke"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
T. Stelzner, Ralf Riedel, Daniel Probst, E. Koke, Herbert Stafast, Y. Zhou, Ralf Hauser, Holger Hoche, Christina Berger, Herbert Scheerer, Erhard Broszeit
Publikováno v:
Surface and Coatings Technology. 200:355-359
Amorphous Si/C/N:H where synthesized by plasma enhanced chemical vapor deposition (PE-CVD) using the single-source precursors hexamethyldisilazane (HMDS) and bis(trimethylsilyl)carbodiimide (BTSC). The films produced using the HMDS precursor were ric
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.