Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"E. Godot"'
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 85:151-155
Germanium wafer oxidation has been studied by angle resolved X-ray photoelectron spectroscopy (ARXPS). These analyses have been used for testing a new concept for substrate contamination prevention methods using an ultra clean vacuum substrate carrie
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::48a8924f23be9ed203fa7cf2e8d50df4
https://doi.org/10.1016/j.mee.2007.04.149
https://doi.org/10.1016/j.mee.2007.04.149
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Periodical
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.