Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"E. Gocolides"'
Publikováno v:
physica status solidi (b). 190:91-95
Sub-ten nanometer diameter silicon pillars and silicon walls of the same thickness are fabricated by using conventional optical lithography based on deep-UV exposure and reactive ion etching using fluorine only containing gases. The produced structur
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::be538e95a21935bf6c2f68123601ad22
https://doi.org/10.1002/pssb.2221900114
https://doi.org/10.1002/pssb.2221900114
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.