Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"E. André-Benoit"'
Publikováno v:
Microelectronics Journal. 25:577-582
The impact of the furnace nitridation time in N 2 O ambient on the quality of the Si/SiO 2 system is analyzed in detail. It is shown that, for a high temperature furnace nitridation process step, a long duration of nitridation may give rise to degrad
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::eedfe21319f77422f17ced6fd53d1c7d
https://doi.org/10.1016/0026-2692(94)90043-4
https://doi.org/10.1016/0026-2692(94)90043-4
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.