Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Durfee, Curtis"'
Autor:
Schmidt, Daniel, Cepler, Aron, Durfee, Curtis, Pancharatnam, Shanti, Frougier, Julien, Breton, Mary, Greene, Andrew, Klare, Mark, Koret, Roy, Turovets, Igor
Methodologies for characterization of the lateral indentation of silicon-germanium (SiGe) nanosheets using different non-destructive and in-line compatible metrology techniques are presented and discussed. Gate-all-around nanosheet device structures
Externí odkaz:
http://arxiv.org/abs/2201.04725
Autor:
Sendelbach, Matthew J., Schuch, Nivea G., Chouaib, Houssam, Dimastrodonato, Valeria, Chou, Anderson, Cangianoa, Agostino, Cross, Andrew, Shaughnessy, Derrick, Tan, Zhengquan, Schmidt, Daniel, Durfee, Curtis, Pancharatnam, Shanti, Frougier, Julien, Greene, Andrew, Breton, Mary
Publikováno v:
Proceedings of SPIE; April 2024, Vol. 12955 Issue: 1 p129550L-129550L-11, 12825462p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Durfee, Curtis, Otto IV, Ivo, Kal, Subhadeep, Pancharatnam, Shanti, Flaugh, Matthew, Kanaki, Toshiki, Rednor, Matthew, Zhou, Huimei, Qin, Liqiao, Meli, Luciana, Loubet, Nicolas, Biolsi, Peter, Felix, Nelson
Publikováno v:
ECS Meeting Abstracts; 2023, Vol. MA2023-02 Issue 1, p1517-1517, 1p