Multiple phase silicon in submicrometer chips removed by diamond turning

Autor: Jasineviclus, R. G., Porto, A. J. V., Duduch, J. G., Paulo Sergio Pizani, Lanciotti Jr, F., Dos Santos, F. J.

Publikováno v: Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering v.27 n.4 2005
Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering
Associação Brasileira de Engenharia e Ciências Mecânicas (ABCM)
instacron:ABCM
Journal of the Brazilian Society of Mechanical Sciences and Engineering, Volume: 27, Issue: 4, Pages: 440-448, Published: DEC 2005
Scopus-Elsevier

Continuous chips removed by single point diamond turning of single crystal silicon have been investigated by means of Scanning Electron Microscopy/Transmission Electron Microscopy and micro-Raman Spectroscopy. Three different chip structures were pro

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::cfd1245bea94d6a8d3064e35baf4fde8
http://old.scielo.br/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S1678-58782005000400013

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.

Surface amorphization in diamond turning of silicon crystal investigated by transmission electron microscopy

Autor: Jasinevicius, R. G., Santos, F. J. dos, Pizani, P. S., Duduch, J. G., Porto, A. J.

Publikováno v: Journal of Non-Crystalline Solids; 2000, Vol. 272 Issue: 2 p174-178, 5p