Zobrazeno 1 - 10
of 92
pro vyhledávání: '"Dudkin A. I."'
Publikováno v:
Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, Iss 4, Pp 29-32 (2011)
The research has been carried out on dependence of mechanical stress on the modes of deposition of silicon nitride and oxide films obtained by plasma excited chemical vapour deposition of the layers from the gas phase (PECVD). The connection has been
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/341c36a8f31f498bb43af7f32f65e24b
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Measurement Techniques; Mar2024, Vol. 66 Issue 12, p958-970, 13p
Publikováno v:
Measurement Techniques; Feb2024, Vol. 66 Issue 11, p879-888, 10p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Measurement Techniques; Jun2024, Vol. 67 Issue 3, p257-258, 2p
Publikováno v:
Atomic Energy; Sep2022, Vol. 132 Issue 5, p282-287, 6p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.