Zobrazeno 1 - 10
of 86
pro vyhledávání: '"Dudin, S. V."'
Autor:
Sultanov, V. G.1 (AUTHOR) sultan@ficp.ac.ru, Dudin, S. V.1 (AUTHOR), Sosikov, V. A.1 (AUTHOR), Torunov, S. I.1 (AUTHOR), Vasilyunok, E. V.2 (AUTHOR), Razmyslov, A. V.1 (AUTHOR), Rapota, D. Yu.1 (AUTHOR)
Publikováno v:
Combustion, Explosion, & Shock Waves. Aug2023, Vol. 59 Issue 4, p516-525. 10p.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Dudin, S. V.1 (AUTHOR) dudinsv@ficp.ac.ru, Sosikov, V. A.1 (AUTHOR), Torunov, S. I.1 (AUTHOR)
Publikováno v:
Combustion, Explosion, & Shock Waves. Jul2019, Vol. 55 Issue 4, p507-511. 5p.
Publikováno v:
Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, Iss 1-2, Pp 42-48 (2011)
Results of experimental and theoretical study of RF CCP reactor for reactive ion etching of semiconductors are presented. Breakdown curve and domain of the discharge existence are measured in various gases (argon, fluorocarbon, oxygen). The dependenc
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/bbf6fb62ccd242a0824c75d3346890a2
Publikováno v:
Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, Iss 2, Pp 52-55 (2010)
Characteristics of single-grid RF ion source with 250 mm beam diameter and 1A beam current have been studied. Energy distribution functions of electrons and ions emitted by the source have been measured. It is shown that the emitted electron current
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/15f01bd2b94246bcb384a44142fff7ee
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Dudin S. V., Rafalskyi D. V.
Publikováno v:
Tekhnologiya i Konstruirovanie v Elektronnoi Apparature, Iss 6, Pp 42-45 (2009)
The experimental investigations of principles of low energy ion beam formation in single-grid ion optical system with ICP discharge are reported. Two modes of ions extraction are discovered: beam regime and plasma regime with transition at some criti
Externí odkaz:
https://doaj.org/article/56a20d9b7e89495197d135fd68e7f0f8