Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Dong, Qingyun"'
Publikováno v:
In Journal of PeriAnesthesia Nursing February 2021 36(1):30-35
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
2014 19th IEEE-NPSS Real Time Conference; 2014, p1-2, 2p
Publikováno v:
2014 19th IEEE-NPSS Real Time Conference; 2014, p1-2, 2p
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 7:1600
This paper describes a technology for making large area silicon‐nitride x‐ray masks. We did extensive work for optimizing the LPCVD deposition process. Choosing proper deposition parameters, we obtained silicon‐nitride layers with low tensile s
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::cbe25a7aa357d8fadaef226bcf933f80
https://doi.org/10.1116/1.584497
https://doi.org/10.1116/1.584497