Zobrazeno 1 - 10
of 27
pro vyhledávání: '"Djuzhev Nikolay"'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
In Ultramicroscopy January 2014 136:91-95
Autor:
Djuzhev, Nikolay1, Iurov, Aleksey1, Mazurkin, Nikita1, Chinenkov, Maksim1 chinenkov@inbox.ru, Trifonov, Aleksey2, Pushkina, Marina1
Publikováno v:
EPJ Web of Conferences. 2018, Vol. 185, p1-4. 4p.
Analysis of topography of silicon wafers and wafer-based structures is an important stage of microelectronic manufacturing. In particular, such an analysis allows one to measure deformation of these objects, as well as to estimate their mechanical st
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::a96500c7c8e515a71561423cc57c2274
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Investigating Mechanical Strength of Multilayer Membranes for MEMS Converters of Physical Quantities
Publikováno v:
Nanoindustry Russia. :538-541
Autor:
Demin, Gleb D., Djuzhev, Nikolay A., Filippov, Nikolay A., Glagolev, Petr Yu., Evsikov, Iliya D., Patyukov, Nikolay N.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Nanotechnology & Microelectronics; Mar2019, Vol. 37 Issue 2, pN.PAG-N.PAG, 6p
Publikováno v:
Nanoindustry Russia. :552-553