Contribution au développement d'une méthode à ondes acoustiques de surface hautes fréquences dédiée à la caractérisation ultrasonore des structures à couches minces et au silicium mésoporeux

Autor: Kadi, Tahar

Publikováno v: Acoustique [physics.class-ph]. Université Polytechnique Hauts-de-France; Institut national des sciences appliquées Hauts-de-France, 2021. Français. ⟨NNT : 2021UPHF0023⟩

This work is within the scope of characterization of thin layers, coatings and functional surfaces (thickness, elastic constants, porosity,…). Among the characterization methods, the ultrasonic methods using surface acoustic waves are particularly

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