Zobrazeno 1 - 10
of 13
pro vyhledávání: '"Direct write electron-beam lithography"'
Autor:
Uwe D. Zeitner, Hans Dekker, Frank Burmeister, Thomas Flügel-Paul, Andrea Bianco, Alessio Zanutta
CUBES is the Cassegrain U-Band Efficient Spectrograph, a high-efficiency instrument operating in the UV spectral range between 300nm and 400nm with a resolution not less than 20000. CUBES is to be installed at a Cassegrain focus of the Very Large Tel
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::4d2eb820661aed034d5c17877ef41790
http://arxiv.org/abs/2203.15637
http://arxiv.org/abs/2203.15637
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. :331-335
The fabrication of DFB (distributed feedback) gratings containing small variations of the grating pitches (chirped gratings) by means of direct write electron-beam lithography is presented. The procedure allows the generation of pitch variations in t
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::e062a7ef859f7a1f1345c6d21a87dcd0
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00517-8
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(02)00517-8
This paper describes experimental measurement results for photonic crystal sensor devices which have been functionalized for gas sensing applications. The sensor consists of a two dimensional photonic crystal etched into a slab waveguide having a ref
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dris___00893::5107e2c2c5c82414a6912511efe466f2
http://resolver.tudelft.nl/uuid:45e8dc84-2db0-46a2-b4da-f941d9151a7c
http://resolver.tudelft.nl/uuid:45e8dc84-2db0-46a2-b4da-f941d9151a7c
Autor:
M. Hamacher, R. Steingrüber
Publikováno v:
Microelectronic Engineering. 35:341-344
A novel process enabling the simultaneous electron-beam exposure of different types of structures is presented, illustrated by the synchronous generation of filter gratings and waveguides. Optimized results for a precise adjustment of the interface w
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::916a723edca13110a23cc139283a391c
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(96)00092-5
https://doi.org/10.1016/s0167-9317(96)00092-5
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.