Metamaterial-Engineered Silicon Beam Splitter Fabricated with Deep UV Immersion Lithography.

Autor: Vakarin V; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France., Melati D; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France., Dinh TTD; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France., Le Roux X; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France., Kan WKK; LETI, University Grenoble Alpes and CEA, 38054 Grenoble, France., Dupré C; LETI, University Grenoble Alpes and CEA, 38054 Grenoble, France., Szelag B; LETI, University Grenoble Alpes and CEA, 38054 Grenoble, France., Monfray S; STMicroelectronics SAS, 850 rue Jean Monnet, 38920 Crolles, France., Boeuf F; STMicroelectronics SAS, 850 rue Jean Monnet, 38920 Crolles, France., Cheben P; National Research Council Canada, 1200 Montreal Road, Ottawa, ON K1A 0R6, Canada.; Center for Research in Photonics, University of Ottawa, Ottawa, ON K1N 6N5, Canada., Cassan E; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France., Marris-Morini D; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France., Vivien L; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France., Alonso-Ramos CA; Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies, CNRS, Université Paris-Saclay, 91120 Palaiseau, France.

Publikováno v: Nanomaterials (Basel, Switzerland) [Nanomaterials (Basel)] 2021 Nov 03; Vol. 11 (11). Date of Electronic Publication: 2021 Nov 03.

Silicon photonic on-chip spatial heterodyne Fourier transform spectrometer exploiting the Jacquinot's advantage.

Autor: Dinh TTD, González-Andrade D, Montesinos-Ballester M, Deniel L, Szelag B, Le Roux X, Cassan E, Marris-Morini D, Vivien L, Cheben P, Velasco AV, Alonso-Ramos C

Publikováno v: Optics letters [Opt Lett] 2021 Mar 15; Vol. 46 (6), pp. 1341-1344.