Výsledky vyhledávání - "Dienelt, Jens"

Chemisch unterstütztes Ionenstrahlätzen von Galliumarsenid : Prozessaufklärung und Anwendungen

Autor: Dienelt, Jens.

Techn. Univ., Diss. 2004--Ilmenau, 2004.

Externí odkaz: http://www.gbv.de/dms/ilmenau/abs/390321044diene.txt

Zobrazit plný text záznamu

Conference

Fabrication of surface gratings in GaAs and AlGaAs by electron beam lithography and chemically assisted ion beam etching.

Autor: Dienelt, Jens, Otte, Karsten, Zimmer, Klaus-Peter, Pietag, F., Bigl, Frieder

Publikováno v: Proceedings of SPIE; Nov1999, Issue 1, p195-205, 11p

Zobrazit plný text záznamu

Akademický článek

Structuring of GaAs. I. Chemical dry etching: Temperature and chlorine pressure dependence of etch rates.

Autor: Dienelt, Jens, von Sonntag, Justus, Zimmer, Klaus, Rauschenbach, Bernd

Publikováno v: Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2004, Vol. 22 Issue 4, p1964-1969, 6p

Zobrazit plný text záznamu