Real-time characterization of dielectric charging in contactless capacitive MEMS

Autor: Elena Blokhina, Joan Pons-Nin, Sergi Gorreta, Orla Feely, Manuel Dominguez-Pumar, Panagiotis Giounanlis

Publikováno v: Recercat. Dipósit de la Recerca de Catalunya
Universitat Jaume I
UPCommons. Portal del coneixement obert de la UPC
Universitat Politècnica de Catalunya (UPC)

This paper presents a new method to characterize the dynamics of the charge trapped in the dielectric layer of contactless microelectromechanical systems. For sampled-time systems, this allows knowing the state of the net charge at each sampling time

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_dedup___::3174baac573ad50a663225837f7d1497
https://doi.org/10.1007/s10470-014-0458-y

Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.