Zobrazeno 1 - 3
of 3
pro vyhledávání: '"Dick Yeakley"'
Autor:
T. Breedijk, Mehrdad M. Moslehi, John Kuehne, David Yin, Dick Yeakley, Rhett B. Jucha, Steve S. Huang, Lino A. Velo
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Twelve rapid thermal processes have been developed for over fifteen critical thermal fabrication steps in a sub-0.50 p.m CMOS technology. These processes include dielectric growth (dry and wet rapid thermal oxidations), thermal anneals (source/drain
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5795bb9971cf64d2ffe708ce30a84933
https://doi.org/10.1117/12.56671
https://doi.org/10.1117/12.56671
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.