Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"Dick Yeakley"'
Autor:
T. Breedijk, Mehrdad M. Moslehi, John Kuehne, David Yin, Dick Yeakley, Rhett B. Jucha, Steve S. Huang, Lino A. Velo
Publikováno v:
SPIE Proceedings.
Twelve rapid thermal processes have been developed for over fifteen critical thermal fabrication steps in a sub-0.50 p.m CMOS technology. These processes include dielectric growth (dry and wet rapid thermal oxidations), thermal anneals (source/drain
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::5795bb9971cf64d2ffe708ce30a84933
https://doi.org/10.1117/12.56671
https://doi.org/10.1117/12.56671
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Publikováno v:
Journal of Applied Physics; Dec1971, Vol. 42 Issue 13, p5680-5688, 9p
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Autor:
Platteter, D.G., Cheek, T.F.
Publikováno v:
IEEE Transactions on Nuclear Science; 1988, Vol. 35 Issue 6, p1350-1354, 5p
Publikováno v:
MRS Online Proceedings Library; 01/09/1985, Vol. 53, pN.PAG-1, 1p