Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"Deneault, S. J."'
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Direct patterning of spin-on glass with 157 nm lithography: Application to nanoscale crystal growth.
Autor:
Bloomstein, T. M., Juodawlkis, P. W., Swint, R. B., Cann, S. G., Deneault, S. J., Efremow, N. N., Hardy, D. E., Marchant, M. F., Napoleone, A., Oakley, D. C., Rothschild, M.
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2005, Vol. 23 Issue 6, p2617-2623, 7p
Publikováno v:
Journal of Vacuum Science & Technology: Part B-Microelectronics & Nanometer Structures; 2003, Vol. 21 Issue 6, p2865-2868, 4p
Autor:
Geis, M. W., Krohn, K. E., Lawless Jr., J. M., Deneault, S. J., Marchant, M. F., Twichell, J. C., Lyszczarc, T. M., Butler, J. E., Flechtner, D. D., Wright, R.
Publikováno v:
Applied Physics Letters; 6/7/2004, Vol. 84 Issue 23, p4620-4622, 3p, 3 Graphs