Caractérisation acoustique de l’énergie de collage direct

Autor: Iklil, Amine, Despaux, Gilles, Fournel, Frank, Deloffre, Emilie, Le Clézio, Emmanuel

Publikováno v: CFA 2022-16ème Congrès Français d'Acoustique
CFA 2022-16ème Congrès Français d'Acoustique, Société Française d'Acoustique; Laboratoire de Mécanique et d'Acoustique, Apr 2022, Marseille, France
16ème Congrès Français d'Acoustique, CFA2022
16ème Congrès Français d'Acoustique, CFA2022, Société Française d'Acoustique; Laboratoire de Mécanique et d'Acoustique, Apr 2022, Marseille, France

International audience; Le collage direct est une technique d’assemblage de semi-conducteur prisée par l’industrie de la microélectronique. Cette méthode ne nécessite pas de matière adhésive. La qualité du collage est définie par deux par

Externí odkaz: https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=dedup_wf_001::376fca7b4201708af1a82d11d8b2462c
https://hal.science/hal-04156438

(Invited) Hybrid Bonding for 3D Applications: Improvements and Limitations.

Autor: Deloffre, Emilie, Ayoub, Bassel, Lhostis, Sandrine, Dettoni, Florent, Fournel, Frank, Montméat, Pierre, Mermoz, Sebastien

Publikováno v: ECS Meeting Abstracts; 2023, Vol. MA2023-02 Issue 1, p1592-1592, 1p

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PEALD ZrO2Films Deposition on TiN and Si Substrates

Autor: Monnier, Denis, Gros-Jean, Mickael, Deloffre, Emilie, Doisneau, Béatrice, Coindeau, Stéphane, Crisci, Alexandre, Roy, Jérôme, Mi, Yanyu, Detlefs, Blanka, Zegenhagen, Jorg, Wyon, Christophe, Martinet, Christine, Volpi, Fabien, Blanquet, Elisabeth

Publikováno v: ECS Transactions; September 2009, Vol. 25 Issue: 8