Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"David C. Frystak"'
Autor:
David C. Frystak, Whye-Kei Lye, Tso-Ping Ma, R. C. Barker, Yin Hu, Eiji Hasegawa, John Kuehne
Publikováno v:
Applied Physics Letters. 71:2523-2525
A dual temperature method has been developed for subtracting the 77 K thermally smoothed background from 4.2 K inelastic electron tunneling spectra of ultrathin dielectric metal-insulator-semiconductor junctions. A mode resolving method applied to th
Autor:
David C. Frystak, Whye-Kei Lye, John Kuehne, Eiji Hasegawa, R. C. Barker, Yin Hu, Tso-Ping Ma
Publikováno v:
The 1998 international conference on characterization and metrology for ULSI technology.
In this work we demonstrate the application of tunneling spectroscopy to the silicon Metal-Oxide-Semiconductor system. As an electrical characterization method, this technique allows for the direct study of the structure of ultra-thin gate oxides in
Autor:
Joel Barnett, David C. Frystak, Gary E. Miner, John Kuehne, Phil Grothe, Rick L. Wise, Burt W. Fowler
Publikováno v:
MRS Proceedings. 470
A single wafer gate cluster tool has been evaluated in an effort to quantify the effects of gate clustering on defect density, process capability and device performance. The single wafer gate cluster tool consists of a hydrofluoric vapor (HF-vapor) p
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.