Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"Dag Behammer"'
Publikováno v:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 32:502-505
The semi-insulating characteristics of GaAs substrates makes GaAs front end manufacturing sensitive to ESD events occurring during wafer processing. Charges induced to the wafer by these ESD events can harm or even destroy insulating structures like
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::a295d734b41fee4b94715115c155bca8
https://doi.org/10.1109/tsm.2019.2933013
https://doi.org/10.1109/tsm.2019.2933013
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.