Zobrazeno 1 - 2
of 2
pro vyhledávání: '"D.N. Oliver"'
Autor:
A.G.K. Lutsch, D.N. Oliver
Publikováno v:
Microelectronics Journal. 14:21-34
When implanting ions through a window the equidensity lines of ions are influenced by higher moments of the impurity ion distribution versus depth into the substrate. This effect is particularly noticeable if the ions are light and the ion energy is
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::9a2fefe81d8a5d8c982fd59025b6e9f7
https://doi.org/10.1016/s0026-2692(83)80166-9
https://doi.org/10.1016/s0026-2692(83)80166-9
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.