Zobrazeno 1 - 6
of 6
pro vyhledávání: '"D.K. DeBusk"'
Publikováno v:
2000 International Conference on Ion Implantation Technology Proceedings. Ion Implantation Technology - 2000 (Cat. No.00EX432).
Cycle time and cost demands associated with ultra-large and giga-scale integration have fueled the need for cost effective, fast, and accurate in-line characterization techniques across all processing areas. The work presented here, is a discussion o
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::6a6d81a404d26a9fb174099594d79241
https://doi.org/10.1109/iit.2000.924226
https://doi.org/10.1109/iit.2000.924226
Publikováno v:
2000 5th International Symposium on Plasma Process-Induced Damage (IEEE Cat. No.00TH8479).
We report a direct correlation between gate oxide damage measured on antenna testers and yield loss as well as reliability degradation on production chips. The relationship between the magnitude of the yield loss and the reliability failure is explor
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::86f98766eff35bac31b510a45b9eace4
https://doi.org/10.1109/ppid.2000.870560
https://doi.org/10.1109/ppid.2000.870560
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Periodical
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.