Zobrazeno 1 - 4
of 4
pro vyhledávání: '"D.H.Y. Lim"'
Publikováno v:
IEEE 1997 Annual Report Conference on Electrical Insulation and Dielectric Phenomena.
The electrical properties of plasma-enhanced undoped silicon dioxide and subatmospheric pressure chemical vapor deposited borophosphosilicate glass films used in sub-half-micron ULSI were investigated and compared for 200 mm p-type silicon wafers. Th
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::05261317ae6298acbfdff08b15800df6
https://doi.org/10.1109/ceidp.1997.634581
https://doi.org/10.1109/ceidp.1997.634581
Publikováno v:
Proceedings of the 1997 6th International Symposium on the Physical and Failure Analysis of Integrated Circuits.
The results of studying the mechanisms of CMOS ULSI LOCOS isolation failures and an effective approach to qualifying the technological processes of isolation manufacturing are presented. The described method for reliability analysis allows one to rev
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::e6d973e027a8334b14e3e26fe9e8c1fd
https://doi.org/10.1109/ipfa.1997.638065
https://doi.org/10.1109/ipfa.1997.638065
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.