Zobrazeno 1 - 9
of 9
pro vyhledávání: '"D.B. Sams"'
Publikováno v:
Applied Surface Science. :457-460
A test method is needed to determine nitrogen lower than 1E15 atoms/cm3 in silicon crystals very accurately. In order to determine the concentration, it is necessary to subtract the contribution of background nitrogen properly. The “raster changing
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::815252d7ca7771cbd18a3dd8abdc3f1e
https://doi.org/10.1016/s0169-4332(02)00700-6
https://doi.org/10.1016/s0169-4332(02)00700-6
Publikováno v:
Ion Implantation Technology. 2002. Proceedings of the 14th International Conference on.
As device dimensions decrease and wafer real estate increases in value, it becomes ever more important to conserve the space dedicated to test structures. As devices become more complex, it becomes more vital to provide supporting Secondary Ion Mass
Externí odkaz:
https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::1a58690c888da365d7ea2c978fe876e7
https://doi.org/10.1109/iit.2002.1257991
https://doi.org/10.1109/iit.2002.1257991
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Kniha
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Conference
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
Akademický článek
Tento výsledek nelze pro nepřihlášené uživatele zobrazit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.
K zobrazení výsledku je třeba se přihlásit.